真空等離(lí)子清洗機結構與原理

真空等離(lí)子清洗機(plasma cleaner)也叫等離(lí)子清潔機，或者等離(lí)子表面處理儀，是一(yī)種全新的高科技技術，利用等離(lí)子體(tǐ)來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離(lí)子體(tǐ)是物(wù)質的一(yī)種狀态，也叫做物(wù)質的第四态，并不屬于常見的固液氣三态。對氣體(tǐ)施加足夠的能量使之離(lí)化便成爲等離(lí)子狀态。等離(lí)子體(tǐ)的“活性”組分(fēn)包括：離(lí)子、電子、原子、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子等。等離(lí)子清潔機就是通過利用這些活性組分(fēn)的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、塗覆等目的。

介紹：

等離(lí)子體(tǐ)和固體(tǐ)、液體(tǐ)或氣體(tǐ)一(yī)樣，是物(wù)質的一(yī)種狀态，也叫做物(wù)質的第四态。對氣體(tǐ)施加足夠的能量使之離(lí)化便成爲等離(lí)子狀态。等離(lí)子體(tǐ)的"活性"組分(fēn)包括：離(lí)子、電子、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子等。等離(lí)子體(tǐ)表面處理儀就是通過利用這些活性組分(fēn)的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的 。

清洗原理：

等離(lí)子體(tǐ)是物(wù)質的一(yī)種存在狀态，通常物(wù)質以固态、液态、氣态三種狀态存在，但在一(yī)些特殊的情況下(xià)有第四種狀态存在，如地球大(dà)氣中(zhōng)電離(lí)層中(zhōng)的物(wù)質。等離(lí)子體(tǐ)狀态中(zhōng)存在下(xià)列物(wù)質：處于高速運動狀态的電子；處于激活狀态的中(zhōng)性原子、分(fēn)子、原子團（自由基）；離(lí)子化的原子、分(fēn)子；未反應的分(fēn)子、原子等，但物(wù)質在總體(tǐ)上仍保持電中(zhōng)性狀态。

在真空腔體(tǐ)裏，通過射頻(pín)電源在一(yī)定的壓力情況下(xià)起輝産生(shēng)高能量的無序的等離(lí)子體(tǐ)，通過等離(lí)子體(tǐ)轟擊被清洗産品表面．以達到清洗目的。

結構組成：

等離(lí)子清洗機的結構主要分(fēn)爲三個大(dà)的部分(fēn)組成，分(fēn)别是控制單元、真空腔體(tǐ)以及真空泵。就以下(xià)三個部分(fēn)做一(yī)個陳述：

一(yī)、控制單元

國内使用的等離(lí)子清洗機，包括國外(wài)進口的，控制單元主要分(fēn)爲半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。

而控制單元又(yòu)分(fēn)爲兩個大(dà)的部分(fēn)：

1）電源部分(fēn)：主要電源頻(pín)率有三種，分(fēn)别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中(zhōng)13.56MHz是需要電源匹配器的。

2）系統控制單元：分(fēn)三種，按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）。

二、真空腔體(tǐ)：

真空腔體(tǐ)主要是分(fēn)爲兩種材質的：

1）不鏽鋼真空腔體(tǐ)

2）石英腔體(tǐ)

三、真空泵：

真空泵分(fēn)爲兩種：

1）幹泵

2）油泵

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